光譜儀器是掃描型的儀器，當(dāng)儀器運(yùn)行時(shí)，許多部件在動(dòng)作，如測(cè)角儀、晶體轉(zhuǎn)換器、準(zhǔn)直器等，經(jīng)常動(dòng)作的部件容易出現(xiàn)問(wèn)題，另外控制和探測(cè)各個(gè)部件動(dòng)作的電子線路板也可能出現(xiàn)問(wèn)題。
 

　　光譜儀器都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個(gè)部位的傳感器將儀器的狀態(tài)信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產(chǎn)生故障的部位。但是有些在測(cè)量過(guò)程中出現(xiàn)的問(wèn)題靠診斷軟件是發(fā)現(xiàn)不了的，而且診斷軟件僅僅提示產(chǎn)生了故障，要找到產(chǎn)生故障的原因，要求維修人員對(duì)儀器的結(jié)構(gòu)比較熟悉，且具有一定的維修經(jīng)驗(yàn)。
 

　　光譜儀器的工作原理：它是利用原子或離子在一定條件下受激而發(fā)射的特征光譜來(lái)研究物質(zhì)化學(xué)組成的分析方法。根據(jù)激發(fā)機(jī)理不同，原子發(fā)射光譜有3種類(lèi)型：
 

　?、僭拥暮送夤鈱W(xué)電子在受熱能和電能激發(fā)而發(fā)射的光譜，通常所稱(chēng)的原子發(fā)射光譜法是指以電弧、電火花和電火焰為激發(fā)光源來(lái)得到原子光譜的分析方法。以化學(xué)火焰為激發(fā)光源來(lái)得到原子發(fā)射光譜的，專(zhuān)稱(chēng)為火焰光度法。
 

　　②原子核外光學(xué)電子受到光能激發(fā)而發(fā)射的光譜，稱(chēng)為原子熒光。
 

　?、墼邮艿絏射線光子或其他微觀粒子激發(fā)使內(nèi)層電子電離而出現(xiàn)空穴，較外層的電子躍遷到空穴，同時(shí)產(chǎn)生次級(jí)X射線即X射線熒光。